中微公司(688012):
公司是目前技术实力、研发体系最为强劲的本土半导体设备企业之一,是推动中国半导体设备国产化的核心力量。中微半导体在刻蚀机领域处于世界领先地位,自主研发的5nm等离子体刻蚀机性能优异,已经成功通过台积电认证,将使用于全球首条5nm制程生产线,目前晶圆代工最先进工艺节点为 7nm,中微半导体也是唯一一个打入台积电7nm制程刻蚀设备的大陆本土供应商,成功在该领域突破了欧美日的垄断。公司是我国半导体设备企业中少数能与全球顶尖设备公司直接竞争并不断扩大市场占有率的公司,在研发投入、技术积累、人才储备等多方面走在国内前列。
公司专注于集成电路、LED关键制造设备,核心产品包括:1、用于IC集成电路领域的等离子体刻蚀设备(CCP 、ICP)、深硅刻蚀设备(TSV)。2、用于LED 芯片领域的MOCVD 设备。
目前公司等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65 纳米到14 纳米、7 纳米和5 纳米的集成电路加工制造及先进封装,由于公司开发出与美国公司具有同等质量和相当数量的等离子体刻蚀设备并实现量产,美国商务部在2015年宣布解除了对我国等离子体刻蚀设备多年的出口管制。