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95后造纳米级光刻机!大连理工学生造光刻机引关注

2020-07-10 编辑:网站编辑 有678人参与 发送到手机
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  最近,B站上一位本科生自制光刻机的视频火了。是的,你没听错,一位大连理工大学化工学院的Up主彭译锋,竟然凭着一张图纸给成功在家里搭建了纳米级光刻机,还成功光刻出~75微米(75000纳米)的孔径,被网友盛赞:后浪可畏!

  更让人惊掉下巴的是,这位同学还在读本科,整个制造过程都是在一间超简陋的小书桌上完成的,全部数学演算全靠一张白板,所有的材料都堆放在桌上地上,简直就是“家居实验室模范”。

  光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。